为半导体工业提供超高纯度陶瓷材料

产品特点:

• 纯度高
• 化学稳定性高
• 在UHV超高真空中放气率低
• 优良的抗热震性能
• PBN热裂解氮化硼是优良的电绝缘体
• PG是优良的电导体
• 各向异性
• 韧性高
• 可用机械加工
• 密度低，重量轻

应用范围:

1. 坩埚:

• 在UHV超高真空下蒸发金属 (分子束外延MBE, SUMO)
• 垂直覆梯度法(VGF)晶体生长
• 垂直或水平布里基曼法晶体生长
• 液封 Czochralski直拉法(LEC)晶体生长

2. 部件:

• 电绝缘体
• 加热丝固定件
• 垫片
• 螺旋支撑棒
• 管件
• 热电偶套管

3. 加热元件:

• 表面分析
• 镀层技术
• MBE分子束外延、样品加热
• 晶片回火
• MOCVD金属有机化学气相沉积
• 晶片加工